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SENDON Alejandro


Risk minimization through metrology in semiconductor manufacturing

Vendredi 15 septembre 2017 - 9h30 - Campus Georges Charpak Provence

Cette thèse vise, après avoir analyser les différentes propriétés des ateliers de métrologie en fabrication de semi-conducteurs, à proposer de nouvelles approches pour optimiser les taux d’échantillonnage et développer de nouvelles stratégies dynamiques de réduction des risques.
Les nombreux types de contrôle et de métrologie en fabrication de semi-conducteurs sont tout d’abord présentés. Une analyse approfondie des ateliers de métrologie utilisés dans le site de Rousset de STMicroelectronics est conduite, en tenant compte des propriétés physiques des équipements de mesures, ainsi que des caractéristiques en termes de qualification des mesures, de types d’échantillonnage des lots, de niveaux de risque, etc.
A partir de ce travail, une nouvelle approche est développée afin d’établir quelle stratégie d’échantillonnage des lots à mesurer est mieux adaptée aux caractéristiques de l’atelier de métrologie et aux risques à considérer.
De nouvelles approches sont ensuite proposées pour optimiser les taux d’échantillonnage pour différents types d’équipements de métrologie et en fonction des capacités de mesure. Des paramètres tels que les vitesses des machines de production et des équipements de métrologie et les probabilités d’échec de la mesure sont pris en compte. De nombreux résultats expérimentaux sur des données académiques, mais aussi des données industrielles, sont présentés et commentés afin d’évaluer la qualité des approches.
Dans la dernière partie de la thèse, des modèles de simulation ont été développés pour plusieurs ateliers. Ces modèles sont utilisés pour reproduire le fonctionnement des ateliers afin d’aider à proposer de différentes améliorations. Celles-ci sont implémentées dans le modèle et leur impact est évalué sur des données industrielles.

Jury :

Sauer, Nathalie - Professeur Université de Lorraine (Rapporteur)
Tollenaere, Michel - Professeur Institut Polytechnique Grenoble (Rapporteur)
Kedad-Sidhoum, Safia - Maître de Conférence Université Pierre et Marie Curie (Examinatrice)
Yugma, Claude - Maître de recherche EMSE (Examinateur)
Pinaton, Jacques - Ingénieur STMicroelectronics (Examinateur)
Dauzère-Pérès, Stéphane - Professeur EMSE Directeur de thèse (Examinateur)